机译:高性能压电AIN MEMS谐振器,用于液体精确感测
Institute of Sensor and Actuator Systems TU Wien Gusshausstraße 27-29 A-1040 Vienna Austria;
Institute of Sensor and Actuator Systems TU Wien Gusshausstraße 27-29 A-1040 Vienna Austria;
Institute of Sensor and Actuator Systems TU Wien Gusshausstraße 27-29 A-1040 Vienna Austria;
Schmid Ulrich Institute of Sensor and Actuator Systems TU Wien Gusshausstraße 27-29 A-1040 Vienna Austria;
liquid sensing; MEMS; resonators; piezoelectric; realtime monitoring;
机译:压电MEMS谐振器的温度相关性能,用于确定液体的粘度和密度
机译:用于高温封盖,器件钝化和基于压电的RF MEMS / NEMS谐振器应用的脉冲激光沉积AIN薄膜的研究进展
机译:在基本面内弯曲模式下振荡的液体介质中,自驱动和自感应压电-AIN悬臂的设计相关性能
机译:高性能压电Aln Mems谐振器,可用于液体传感及其他领域– Piezomems的潜力
机译:锆酸钛酸铅薄膜,用于压电激励和MEMS谐振器传感。
机译:用于气溶胶传感的弱耦合压电MEMS谐振器
机译:可调谐的mEms悬臂谐振器通过电热驱动和压电传感