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机译:适用于光波导的SiON / SiOx膜的制造工艺优化
waveguideAFMSIMSPECVDsilicon oxynitride;
机译:用于光波导应用的SiON膜的RBS和ERD表征
机译:偶氮染料掺杂的聚合物和二氧化硅薄膜的紫外光漂白工艺用于制造非线性光波导
机译:偶氮染料掺杂的聚合物和二氧化硅薄膜的紫外光漂白工艺用于制造非线性光波导
机译:光波导SiON / SiOx结构制造工艺的优化
机译:铌酸锂波导的光学特性,以及用于优化波导制造的棱镜耦合。
机译:优化SOI缝隙波导制造公差和带缝耦合以实现非常高效的光学传感
机译:灵活的光波导薄膜制造和光电器件集成,用于完全嵌入式板级光学互连