エネルギー分散型微小部蛍光Ｘ線分析装置の原理と応用例

摘要

エネルギー分散型微小部蛍光Ｘ線分析装置（EDμXRF)は, 試料前処理が簡便で大気中での測定が可能であり,装置の取り扱いも簡便であることより，材料の成分分析，故障解析，異物分析，貴金属の品位判定，鑑識分析（法科学分野）など様々な分野で幅広く用いられている.本稿では, EDμXRF の主要コンポーネントに用いられている技術, 観察光学系の工夫などを説明し, 本装置を用いた応用分析例を紹介する.