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机译:通过等离子体增强原子层沉积控制在Si(1?0?0)上生长的InN薄膜的金属铟偏析
InNPEALDIndium segregationGrowth mechanismPolycrystalline;
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:液态二甲基(N-乙氧基-2,2-二甲基丙酰胺基)铟的等离子体增强原子层沉积在低温下生长氧化铟薄膜,以用于高迁移率薄膜晶体管
机译:通过等离子增强原子层沉积外延生长InN薄膜
机译:通过衬底偏置控制通过等离子体增强原子层沉积法沉积的Al2O3薄膜的机械,结构和光学性质
机译:用于多功能薄膜电子设备的等离子增强原子层沉积氧化锌。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:沉积后退火对通过等离子体增强原子层沉积在p-Si上生长的β-Ga2O3薄膜的电学性能的影响
机译:等离子体增强原子层沉积ag薄膜的类似等离子体行为。