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机译:蚀刻3D光子晶体:工具和技术
机译:基于双角度蚀刻和晶片融合技术的三维光子晶体
机译:深度阳极刻蚀和聚焦离子束技术获得的光子晶体的二维有序多孔结构
机译:胶体晶体模板和水凝胶辅助共形金属刻蚀的3D混合等离子光子晶体
机译:全息和湿法刻蚀技术在N型硅衬底上制备二维光子晶体
机译:聚合物光子晶体的基本和应用研究:聚合物结构和3D印刷的作用
机译:质子束写入结合电化学刻蚀法制备的硅基光子晶体
机译:基于双角度蚀刻和晶片融合技术的三维光子晶体
机译:单自对准刻蚀工艺制备三维硅基光子晶体结构。