两种钼靶材溅射钼薄膜的组织性能研究

摘要

将两种不同微观组织的钼靶材在同样的溅射工艺下进行薄膜溅射，通过溅射后钼靶材和钼溅射薄膜的表面形貌观察以及钼薄膜厚度、方阻及结晶取向的测试，探讨了靶材微观组织对薄膜性能的影响。结果表明，靶材的微观组织对钼薄膜的性能有着较大的影响，晶粒组织细小均匀的钼靶材有助于钼薄膜沉积速率的提高，同时有利于组织均匀、表面平整以及厚度和方阻分布均匀的钼薄膜的形成；两种钼靶材溅射形成的钼薄膜均呈现明显的(110)择优取向，钼靶材微观组织的差异对溅射薄膜的结晶取向没有显著的影响。