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机译:CMOS兼容光刻技术在硅中制造的低损耗微谐振器滤波器:设计与特性
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机译:通过CMOS兼容的光刻技术在硅中制造的低损耗微谐振器过滤器:设计和表征
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机译:通过与CMOS兼容的光刻技术在硅中制造的低损耗微谐振器滤波器:设计和表征
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