Mit den Durchflusssensoren der Serie »FM200« hat Panasonic unter dem Markennamen »SUNX« ihr Angebot in der pneumatischen Messtechnik erweitert. Neben den herkömmlichen Aufgaben zur Volumenmessung oder Verbrauchserfassung eignen sich die neuen Sensoren auch zur Ansaugkontrolle von sehr kleinen Bauteilen. Dieser auf kalorimetrischem Messprinzip basierende Durchflusssensor besteht aus einem mittels MEMSrnhergestellten Sensorchip und der integrierten Signalverarbeitungselektronik. Der Linearitätsfehler liegt bei ±3%, die Ansprechzeit bei 50 ms, die Wiederholgenauigkeit bei ±1%. Ein zweifarbiges großes LCD-Display erleichtert sowohl das Einstellen der Sensorparameter als auch das Ablesen der Ausgangszustände oder des Volumens.
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