Oszillatoren auf MEMS-Basis bieten verlockende Vorteile bei Schockfestigkeit, Baugr??e und Verarbeitung. Bis vor kurzem schienen die Bauteile ihren Quarz-Pendants allerdings hinsichtlich Phasenrauschen und Temperaturstabilit?t hoffnungslos unterlegen. Das hat sich inzwischen jedoch grundlegend ge?ndert. Seit den 1940er-]ahren bilden Quarze das Fundament von Oszillatoren und Taktgeber-Schaltungen, denn Quarzmaterial weist als Resonator eine hohe Temperaturstabilit?t und ein sehr geringes Phasenrauschen auf. Vor allem wegen der relativ gro?en Bauform im aufw?ndigen Metallbecher oder im Keramikgeh?use versuchen viele Unternehmen jedoch seit den frühen 1980er-]ahren Quarze durch Silizium-Oszillatoren auf MEMS-Basis (Micro Electro-Mechanical Systems, elektromechanische Mikrosysteme) als Frequenzreferenz in Takt- und Timing-Schwingkreisen zu ersetzen.
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