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机译:微机械隔离器几何的变化在恶劣环境中的传感器性能
Auburn Univ Dept Elect & Comp Engn Auburn AL 36849 USA;
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EngeniusMicro LLC Huntsville AL 35801 USA;
Auburn Univ Dept Elect & Comp Engn Auburn AL 36849 USA;
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Harsh environments; microelectromechanical system (MEMS); micromachined; sensor performance; vibration isolation;
机译:各种装载对高温和致动器的现场调谐的MEMS悬臂梁性能的影响,用于高温和苛刻环境应用
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