机译:群集光刻工具中受控的晶圆释放:灵活的流水线作业释放计划和LMOLP启发式
Defense Agency for Technology and Quality,;
Computational modeling; Job shop scheduling; Lithography; Robots; Semiconductor device modeling; Throughput; Clustered photolithography tools; flexible flow lines; job release scheduling; lexicographic multiple objective linear programming; semiconductor wafer manufacturing;
机译:调度双武装群集工具以同时处理多个晶圆类型并同时处理工作流程
机译:调度双臂集群工具,用于同时处理具有相同作业流的多个晶片类型
机译:具有机器人运输和发布时间的灵活流水车间调度问题的两种元启发式算法
机译:在多集群工具中控制晶圆释放
机译:通过订单下达和调度机制,在与序列相关的设置车间中进行物料流控制。
机译:BCHL的柔性N-末端通过与其4FE-4S群集的交互自动禁止活动并在ATP绑定到ATP绑定时释放
机译:晶圆制造设施中基于智能模拟的照相光刻工具批量调度
机译:具有发布日期和交付时间的一体机排序作业启发式分析