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机译:厚度缩放对Ta(N)扩散阻挡层的渗透性和热稳定性的影响
North China Univ Technol Sch Informat Sci & Technol Beijing 100144 Peoples R China;
Fudan Univ Sch Microelect State Key Lab ASIC & Syst Shanghai 200433 Peoples R China|Shanghai IC R&D Ctr Shanghai 201210 Peoples R China;
Fudan Univ Sch Microelect State Key Lab ASIC & Syst Shanghai 200433 Peoples R China;
Shanghai IC R&D Ctr Shanghai 201210 Peoples R China;
North China Univ Technol Sch Informat Sci & Technol Beijing 100144 Peoples R China|Russian Technol Univ MIREA Moscow 119454 Russia;
Ta(N); Permeability; Diffusion barrier; Interconnect; Thermal stability;
机译:等离子喷涂热障涂层的稳定性:粘结层的波纹度和热生长氧化物层厚度的作用
机译:等离子喷涂热障涂层的稳定性:粘结层的波纹度和热生长氧化物层厚度的作用
机译:比较WTi和WTi(N)作为Si上Al和Cu金属化的扩散阻挡层的热稳定性和Ti扩散行为
机译:顶层涂层厚度对热阻挡涂层热稳定性的影响
机译:非晶态铜-锆(金属玻璃,结晶,弛豫,银,金,固体,合金中的扩散)的扩散和热稳定性。
机译:跨文化调查研究和利用障碍量表(BARRIERS量表)的尺寸结构和稳定性
机译:搅拌时间和铸造厚度对多砜/聚偏二氟乙烯混纺膜的形态,渗透性和热稳定性的影响
机译:用作扩散阻挡层的非晶态Ni-Nb薄膜的热稳定性