机译:确定多层结构中低k薄膜杨氏模量的声表面波方法的数值研究
Tianjin Univ, Sch Elect & Informat Engn, Tianjin 300072, Peoples R China;
Tianjin Univ, Sch Environm Sci & Engn, Tianjin 300072, Peoples R China;
low-k; ULSI interconnection; multi-layer; SAW; Young's modulus;
机译:激光产生的表面声波法测定纳米多孔低k薄膜的杨氏模量和泊松比
机译:使用表面声波测量低k电介质的杨氏模量
机译:使用微机械悬臂梁传感器和基于激光的表面声波技术的等离子体聚合烯丙胺薄膜的杨氏模量
机译:具有改进匹配算法的激光产生的表面声波的杨氏模量检测Low-K膜
机译:用于厚度测量和监视多层结构的声学方法。
机译:集成激光诱导的压电/差分共焦表面声波系统用于测量薄膜杨氏模量
机译:使用微机械悬臂传感器和基于激光的表面声波技术的杨氏血浆聚合烯丙胺膜的模量
机译:吸附剂相膨胀或模量变化在确定聚合物涂层表面声波蒸汽传感器响应中的主导作用