机译:面对靶反应溅射多晶TiO2薄膜的制备与表征
Tianjin Univ, Fac Sci, Inst Adv Mat Phys, Tianjin Key Lab Low Dimens Mat Phys & Preparing T, Tianjin 300072, Peoples R China;
TiO2 films; anatase; rutile; optical band gap; TITANIUM-OXIDE FILMS; ION-BEAM ASSISTANCE; ANATASE THIN-FILMS; OPTICAL-PROPERTIES; LOW-TEMPERATURE; RUTILE; EVAPORATION; DEPOSITION; PLASMA;
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