机译:基于CH4 / H-2的等离子体化学干法蚀刻块状单晶ZnO
Univ Florida, Dept Mat Sci, Gainesville, FL 32611 USA;
Univ Florida, Dept Chem Engn, Gainesville, FL 32611 USA;
ZnO; dry etching; INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA; MOLECULAR-BEAM EPITAXY; POLYCRYSTALLINE ZNO; ROOM-TEMPERATURE; THIN-FILMS; LUMINESCENCE; SURFACE; PHOTOCONDUCTIVITY; IRRADIATION; VARISTORS;
机译:基于CH_4 / H_2的等离子体化学干法蚀刻块状单晶ZnO
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