机译:使用开尔文探针力显微镜的薄膜晶体管面板关键性隐形缺陷检测系统
Future Robot Co Ltd, HRI R&D Inst, 1B-905 Uspace 1,660 Daewangpangyo Ro, Songnam 13494, Gyeonggi Do, South Korea;
Korea Univ, Sch Elect Engn, Seoul 136701, South Korea;
Kelvin probe force microscopy; Thin film transistor panel; Contact potential difference; Line scan; Critical invisible defect detection;
机译:用开尔文探针力显微镜观察非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管中积累层的厚度
机译:时间分辨开尔文探针力显微镜研究有机薄膜晶体管中的局部载流子动力学
机译:用开尔文探针力显微镜测量非晶InGaZnO薄膜晶体管接触电阻的表面电势
机译:硅上离子注入热氧化物薄膜的开尔文-探针力显微镜缺陷研究
机译:嵌段共聚物薄膜中的缺陷和动力学:对环境控制原子力显微镜的聚合物图案演化研究
机译:用凯尔文探针显微镜纳米脂质薄膜纳米级特征
机译:柔性氧化物薄膜晶体管:器件制造和开尔文探针力显微镜分析