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Reconversion of the CdHgTe conductivity type after plasma etching process at low temperature

机译:低温等离子体蚀刻工艺后CdHgTe导电类型的转换

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摘要

We report on the relaxation of Hall coefficient R_H (77 K) depending on the magnetic field in p-Cd_xHg_(1_x)T (x = 0.222) to the initial values, which were before the plasma etching process in argon and methane plasma. The time required to change the conductivity type from the n-type, which was created on the sample surface at a depth of around a micrometer, to the p-type is less than 165 min. We show that the electron concentration in the thin layer near the sample surface decreases to an insignificant value with the increasing storage time at room temperature.
机译:我们报告了根据p-Cd_xHg_(1_x)T(x = 0.222)中的磁场将霍尔系数R_H(77 K)松弛到初始值的情况,该值在氩气和甲烷等离子体中进行等离子刻蚀之前。将电导率类型从在大约微米的深度处在样品表面上创建的n型改变为p型所需的时间少于165分钟。我们表明,随着室温下存储时间的增加,样品表面附近的薄层中的电子浓度降低到微不足道的值。

著录项

  • 来源
    《Applied Physics Letters》 |2020年第8期|082102.1-082102.3|共3页
  • 作者

  • 作者单位

    Rzhanov Institute of Semiconductor Physics SB RAS Acad. Lavrentiev ave. Novosibirsk 630090 Russia;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 05:19:19

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