机译:反应性等离子体中离子辅助化学蚀刻速率的能量依赖性
Departement de physique, Universite de Montreal, Montreal, Quebec, Canada;
机译:离子混合对反应性等离子体中离子辅助化学蚀刻速率的能量依赖性的影响
机译:在Ar / CH_4 / H_2等离子体中对溅射的铟锌氧化物膜进行离子辅助化学刻蚀时,深腐蚀引起的损伤
机译:离子质量与反应等离子体中SrTiO_3膜蚀刻速率的关系
机译:Si
机译:在使用Langmuir探针和光发射光谱法的深反应离子刻蚀系统中,等离子体表征和刻蚀速率以及通孔侧壁角度相关。
机译:使用NOx和燃烧化学调节等离子体温度能量和反应性(CAPTEAR)方法以选择性合成Sc3N @ C80金属氮化物富勒烯
机译:INOX和ITO薄膜通过等离子体增强反应性热蒸发对结构性能和沉积条件的可蚀刻性依赖性
机译:sUTRa(饱和 - 不饱和运输)。具有能量输运或化学反应的单种群溶质运移的饱和 - 不饱和,流体密度相关的地下水流动的有限元模拟模型