机译:用于半导体生产晶圆的Cu / low-k互连的非接触式计量
机译:使用近场扫描微波探针的低k互连膜的非接触介电常数计量
机译:Cu / low-k半导体互连的电迁移和应力消除-65 nm互连技术及其他
机译:Cu / low-k半导体互连的电迁移和应力消除-65 nm互连技术及其他
机译:近场扫描微波探头,用于快速检测生产晶片Cu / Low-K互连中的非视盆和参数缺陷
机译:晶圆上电互连和使用晶圆硅刻蚀的微型悬臂阵列。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:Cu / low-k互连的非接触式电气计量 半导体生产晶圆