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Effect of gettered iron on recombination in diffused regions of crystalline silicon wafers

机译:吸杂铁对晶体硅晶片扩散区复合的影响

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摘要

Crystalline silicon wafers, intentionally precontaminated with iron, were diffused with phosphorus and boron, and the recombination properties of the bulk and diffused regions extracted from injection-dependent carrier lifetime measurements. While the phosphorus diffusions were found to getter more than 99% of the iron from the bulk, the boron diffusions only extracted 65% in the best case. The presence of this gettered iron caused significant additional recombination in the boron diffused layers, while it had no measurable impact on the phosphorus diffused regions. This may be a consequence of the small capture cross section for holes of interstitial iron.
机译:结晶的硅晶片,故意被铁污染,扩散了磷和硼,从注入依赖的载流子寿命测量中提取了整个和扩散区域的复合特性。虽然发现磷扩散从大部分中吸收了99%以上的铁,但在最佳情况下硼扩散仅提取了65%。这种get杂铁的存在在硼扩散层中引起了显着的额外复合,而对磷扩散区没有可测量的影响。这可能是间隙铁孔的捕获横截面较小的结果。

著录项

  • 来源
    《Applied Physics Letters》 |2006年第9期|p.092105.1-092105.3|共3页
  • 作者单位

    Department of Engineering, Australian National University, Canberra, ACT 0200, Australia;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 应用物理学;计量学;
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 03:21:50

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