机译:基于双流Xe / He烟气靶标的13.5 nm激光产生的等离子体EUV源的表征和优化
机译:基于双流Xe / He烟气靶标的13.5 nm激光产生的等离子体EUV源的表征和优化
机译:Mo / Si多层镜在13.5 nm的计量,该激光使用了基于气团靶的激光产生等离子体超紫外线(EUV)源
机译:Mo / Si多层镜在13.5 nm的计量,该激光使用了基于气团靶的激光产生等离子体超紫外线(EUV)源
机译:基于双流Xe / He气雾目标的13.5 nm激光产生的等离子体EUV光源的光谱和空间测量
机译:激光产生的Sn等离子体的主要13.5 nm带内极紫外发射区的动力学和操纵。
机译:基于辐射流体动力学模型的激光产生锡等离子体的EUV辐射演化分析
机译:基于双流Xe / He烟气靶标的13.5 nm激光产生的等离子体EUV源的表征和优化