resonant pressure microsensor; silicon-on-glass cap; temperature compensation; polynomial fitting;
机译:基于人工神经网络的MEMS电热激励谐振压力传感器温度补偿方法
机译:基于可控刚度调制的谐振微传感器温度补偿方法
机译:具有自温度补偿功能的谐振压力微传感器
机译:具有温度和静压补偿的谐振差压微传感器
机译:基于聚合物的微型法布里 - 珀罗压力传感器,具有温度补偿:建模,制造和实验研究
机译:具有自温度补偿功能的谐振压力微传感器
机译:一种具有自温补偿功能的谐振式压力传感器
机译:集成光学微机械压力传感器,具有光谱编码输出和温度补偿