MEMS; infrared detector; thermopile; etch-stop;
机译:使用小型薄膜叠层增强CMOS-MEMS热电堆红外探测器的性能
机译:具有自测功能的高性能CMOS兼容热电堆红外探测器的设计,制造和表征
机译:Mn1.56Co0.96Ni0.48O4薄膜光浸红外探测器的制备与性能研究
机译:MEMS技术制备的PZT厚膜红外探测器的研究
机译:基于MEMS技术的红外热电堆探测器的设计,建模和制造。
机译:基于MEMS的四波长混合等离子-热释电红外探测器
机译:高性能MEMS红外热电堆检测器的研究
机译:基于mEms的热电堆红外探测器阵列,用于化学和生物传感