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【2h】

Back-Side Readout Silicon Photomultiplier

机译:背面读出硅光电倍增器

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摘要

We present a novel structure for the back-side readout silicon photomultipler (SiPM). Current SiPMs are front-illuminated structures with front-side readout, which have relatively small geometric fill factor leading to degradation in their photon detection efficiency (PDE). Back-side readout devices will provide an advantageous solution to achieve high PDE. We designed and investigated a novel structure that would allow back-side readout while creating a region of high electric field optimized for avalanche breakdown. In addition, this structure has relatively high fill factor and also allow direct coupling of individual micro-cell of the SiPM to application-specific integrated circuits. We will discuss the performance that can be attained with this structure through device simulation and the process flow that can be used to fabricate this structure through process simulation.
机译:我们为后侧读出硅光电倍增物(SIPM)提出了一种新颖的结构。目前的SIPMS是具有前侧读数的前方照明结构,其具有相对小的几何填充因子,导致其光子检测效率(PDE)下降。背面读数设备将提供有利的解决方案来实现高PDE。我们设计并调查了一种新颖的结构,可以允许背面读出,同时创建针对雪崩击穿优化的高电场区域。此外,该结构具有相对高的填充因子,并且还允许将SIPM的单个微电池直接耦合到特定于应用的集成电路。我们将讨论通过设备仿真和可用于通过工艺模拟制造该结构的过程流程来实现这种结构的性能。

著录项

  • 期刊名称 other
  • 作者单位
  • 年(卷),期 -1(59),8
  • 年度 -1
  • 页码 2187–2191
  • 总页数 15
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种
  • 中图分类
  • 关键词

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