resonant accelerometer SOI micro-lever mechanism sensitivity MEMS;
机译:高灵敏度设计的微机电共振加速度计
机译:高灵敏度压电微机电系统加速度计的设计,制造和测量
机译:考虑灵敏度,谐振频率和跨轴灵敏度的压阻式加速度计几何形状的分析和设计
机译:具有低温敏感性的微机械硅共振加速度计的设计与仿真
机译:共振气体传感器的设计和制造在存在空气阻尼的情况下具有高灵敏度。
机译:用于重力测量的微机电系统加速度计的新型电容传感系统设计
机译:微机电谐振加速度计设计具有高灵敏度