resonator aluminum nitride membrane HMDSO gravimetric sensitivity;
机译:高度敏感的薄膜平板声谐振器(FPAR)
机译:微机械薄膜板声波谐振器(FPAR):第二部分
机译:使用X-LIAO_3薄板和SiO_2 / TA多层声膜的稳固安装的高频,厚度剪切模式散装声波谐振器
机译:用于气体传感应用的涂有聚合物的薄膜平板声谐振器(FPAR)
机译:物理传感应用集成电路上的薄膜体声谐振器
机译:通过吉赫兹共振器以声触发方式拆卸多层聚电解质薄膜用于受控药物释放应用
机译:高度敏感的薄膜平板声谐振器(FPAR)