finite size effect gas cluster ion beam silicon nanoparticles smoothing effect sputtering;
机译:氩团簇离子束溅射硅纳米粉
机译:氩团簇离子束对二氧化硅的精确溅射
机译:使用椭圆光度法评估氩簇离子束辐照有机膜的表面损伤和溅射产率
机译:氩簇离子对钛酸钾钛的溅射特性
机译:电离簇束技术:汽化固体材料形成束流束及其在膜沉积中的应用
机译:在硅的低能氩离子轰击下从波纹到刻面结构的转变:了解阴影和溅射的作用
机译:乙醇团簇离子束对硅表面的低损伤和高速率溅射
机译:含氮,氩,氮和氩离子束合成含硅类金刚石碳(si-DLC)涂层的磨损和摩擦学性能