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静电放电对结势垒肖特基二极管正向Ⅰ-Ⅴ特性的影响

     

摘要

本文基于人体放电模型对4H-SiC结势垒肖特基(JBS)二极管进行同一电压下的多次脉冲放电,直接对二极管管脚加静电.每次放电后测量器件的Ⅰ-Ⅴ特性,并利用透射电镜和扫描电镜分析静电放电后JBS的损伤部位,分析静电放电下JBS的失效机理.

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