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SOI——21世纪的硅集成电路技术

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@@ SOI(Silicon-on-insulator)被国际上公认为是"21世纪的硅集成电路技术".SOI是在硅材料与硅集成电路巨大成功的基础上出现的、有独特优势的、能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术.

著录项

来源
《世界科学》 |2001年第1期|28-29|共2页
作者
张苗;
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作者单位

中科院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室;

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正文语种 chi
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