曝光台校正透镜修正效果的检测

摘要

检验曝光台校正透镜的修正效果 ,通常是通过在生产线上实际制管来进行。这种方法费时费力 ,并且存在各制作工序误差的积累。本文研制了一种装置 ,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移 ,直接检测修正效果 ,并且测量精度能达到 3～ 5 μm。