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蒋迪奎; 李贵和; 刘泽文; 殷立新; 钱石南; 阚娅; 吴冠原;
中国科技大学国家同步辐射实验室;
同步辐射; 光刻; 差分抽分; 真空系统;
机译:Indus-2 SRS光刻光束线的同步辐射和Bre致辐射剂量的实验研究
机译:Indus-2 SRS光刻光束线的同步加速器和致辐射剂量的实验研究
机译:激光束计量系统,激光束系统,EUV辐射源和光刻设备
机译:国家同步辐射实验室软X射线光刻实验光束线的设计与制作
机译:热畸变对光束线光学设计产生高通量同步加速器辐射的影响。
机译:欧洲同步辐射装置中具有时间分辨和极端条件的XAS(TEXAS)设备:通用EXAFS弯曲磁铁光束线BM23
机译:上海同步辐射装置XAFS光束线真空系统
机译:U9a光束线真空紫外同步辐射的圆二色谱研究:仪器及未来应用
机译:同步辐射光束线的光束位置监测和反馈系统
机译:用于同步加速器辐射的大功率光束快门-狭缝系统具有由单个驱动机构调节的缝隙宽度,可用于2个对称的同步加速器辐射吸收器的相对运动
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