真空微电子学的研究方向与主要内容

摘要

综述了真空微电子这一新学科的研究方向和主要内容，基本的理论基础，总结了近年来国内外在模拟数值计算和工艺实践中报道的对现有理论体系的一些补充性成果，以期对该学科有一比较完整的了解和认识。