W-W_(x)N基光热转换薄膜中WO_(x)减反射层的制备及性能研究

摘要

光热转换薄膜在航空、航天和太阳能可再生能源应用等领域具有广阔的应用前景。为了获得具有高效吸热以及低发射率特点的新型光热薄膜材料,利用中频反应磁控溅射方法,在制备W/W-W_(x)N(H)/W-W_(x)N(L)/W_(x)N光热转换薄膜的基础上,引入WO_(x)作为新型光热转换薄膜的减反射层,以期改善光热转换薄膜的吸收性能。讨论和比较了不同样品的光学性能、表面形态、结构信息以及化学成分。结果表明:WO_(x)减反射层包含多种钨的氧化物,呈现非晶态致密结构;新型光热转换薄膜吸收发射比为0.90/0.089,具有高效的光热性能。