用调制法获得等效单色电子束的实验研究

摘要

电子能量损失谱(ELS)在材料分析研究中有广泛应用。提出了用于 ELS 的新型单色电子枪原理,并介绍了基于这一原理而研制的单色电子枪。它具有束流大、可与筒镜电子能量分析器同轴安装、结构简单、磁屏蔽要求低等特点,为 ELS 与 AES 联合应用进行准确的原位分析提供了可能。研制的单色电子枪的实测结果为:束流约1×10^(-7)A,单色性ΔE<100meV。