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张亮亮; 胡腾江; 李村; 赵玉龙;
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
MEMS传感器; 极端环境; 大量程高温高压传感器; 高g值加速度传感器; 高精度石英谐振加速度传感器;
机译:适用于恶劣环境的远程驱动和读取MEMS传感器
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