基于微结构的柔性电容式压力传感器设计与仿真研究

摘要

柔性压力传感器在工业生产中是非常重要的,并且在科技水平高速发展的背景下,柔性压力传感器的使用范围会不断扩大,然而柔性传感器在使用过程中具有加工工艺复杂和结构等相关问题的存在,需要在提高传感器性能指标的基础上,降低柔性传感器的制作成本,优化制作工艺流程。通常情况下,传感器的结构会采用三明治结构。在微结构研究的基础上,柔性传感器在受到压力时会容易发生形变,因此传感器的灵敏度会得到有效增强,通过对棱椎体微结构的仿真研究,可以看出在压力作用下,采用微结构能够使传感器的变形量会逐渐增强,依靠这种方法制造出的传感器成本低,并且工艺简单,在实际应用过程中的灵敏度高,因此该项技术在医疗健康和智能穿戴等方面具有非常广泛的应用前景。