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杨雨君; 王鹏; 陈曼龙; 张昌明; 杨帆; 陈芳芳;
陕西理工大学机械工程学院;
加速度传感器; 压阻式; 高G值; 灵敏度;
机译:大型微机械加工6H-SiC高克压阻式加速度计的仿真,制造和测试
机译:具有自抵消跨轴灵敏度的六束压阻式加速度传感器
机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度传感器
机译:压阻式高G加速度传感器的结构设计及有限元分析
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:使用人造丝状传感器结构的生物悬浮压阻式加速度传感器
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
机译:MEMS压阻式加速度传感器
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