非晶合金微力传感器

摘要

非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性.基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传感器.利用所制备的微力传感器,在显微镜下可方便地实现微纳米尺寸试样或部件侧弯作用下的载荷—位移曲线的快速获取.该微力传感器测试原理简单,不需要额外的测试电路设计,具有线性度好、可重复性高、量程大等特点.