氮化铝陶瓷基片热导率的分析

摘要

对氮化铝陶瓷基片的热导率进行了实验和理 论分析．实验发现，初始氧含量低的氮化铝粉体烧结后得到的最大热导率较高，加入较多 的Y2O3作烧结助剂才能获得最大热导率；随着氧含量的增加，可达到的最大热导率 逐渐降低，而需加入的Y2O3量减少．同时，晶间相的存在对热导率有重要影响．根 据氧杂质对热导率的影响，首先推导出缺陷散射截面与热导率的关系，随后根据AlN陶瓷的 主要 晶间相Y3Al５O12，推导出热导率与氧含量、晶间相和添加助剂的定量关 系式．按模型对具有不同氧含量样品的热导率变化趋势进行计算的曲线与实验值符合较好 ．