SiO2—Al2O3复合氧化物薄膜的溶胶—凝胶法制备研究

摘要

以ＴＥＯＳ和水合硝酸铝为原料用溶胶－凝胶法制备复合溶胶，对制备条件进行了研究，并用上述溶胶在不锈钢基体上制备了ＳｉＯ２－Ａｌ２Ｏ３复合氧化物薄膜。结果表明，该薄膜在适当组成时具有良好的完整性。当硝酸铝含量过高时溶胶和凝胶的均匀性受到影响。