集成电路制造工艺实验流程仿真实验研究

摘要

仿真实验教学是信息时代教育改革发展的必然要求,也是教育技术现代化和实践实验信息化的重要特征.本论文设计开发了一套集成电路工艺实验流程仿真实验软件,可以在计算机上进行完成一些需要昂贵仪器、有一定危险的实验项目.虚拟仿真技术在实验教学的综合应用,是增强学生实践能力和提高学生就业竞争力的重要手段和方法.