气体层流流量传感器测量不确定度评定

摘要

cqvip:气体层流流量传感器层流元件上下游的静压力差来实现气体流量测量的仪表,广泛应用于汽车电子、半导体技术、能源与环保等领域,本文依据JJG 736-2012《气体层流流量传感器》和JJF159.1-2012《测量不确定度评定和表示》对该流量计仪表系数检定的不确定度进行了评定。