空圧用流量センサ①：デジタルフロースイッチ－気体用流量センサの紹介

摘要

現在、気体や液体等の流量を計測する方式として熱式、カルマン渦式、電磁式、差庄式、コリオリ式、超音波式、羽根車式等さまざまなセンサが考案され、用途に応じて使用されている。当社の気体用流量センサは、熱式の計測原理に基づいた質量流量センサであり、低流量から大流量までをラインナップし展開している。 他にも、気体の流量計測として、MEMS技術を用いて、シリコンウェハ上に熱容量の小さいヒータと温度センサを構成した、チップ型の熱式流速センサを開発した。 その素子の特徴を生かし、高速応答で従来製品より小型軽量化した質量流量センサの製品化を行った。