一种可自动检测宏观缺陷的AOI设备设计探究

摘要

目前,TFT-LCD行业CF基板的微观缺陷主要依靠AOI设备进行。AOI的原理是通过五点比对法自动对微观缺陷进行锁定;而基板的宏观品质主要依靠Mura设备进行。Mura设备原理是通过钠灯照射,CCD生成精度较低的基板灰度图像,由作业人员人眼进行缺陷的检测,这种宏观检测方法自动化低,依赖人力,准确率的稳定性也很难保证。就此问题,文章提出一种可以自动检测出宏观缺陷的AOI设备,通过算法的添加和优化,在检出微观缺陷的同时,能够准确的监控及检出宏观缺陷,使得宏观缺陷的检出结果更加准确、自动化程度更高,节约大量的人力,有很强的推广意义。