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工业机器人在硅片传输中的设计及应用

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本文介绍了工业机器人的原理及其在光伏行业中的应用,以六轴机器人在石英舟装片设备的设计为例,阐述六轴机器人根据设备的工艺流程进行的硬件和软件设计.

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来源
《自动化技术与应用》 |2013年第7期|122-124|共3页
作者
王莉; 范新丽;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二研究所;

山西太原 030024;

中国电子科技集团公司第二研究所;

山西太原 030024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工业机器人;
关键词
六轴机器人; 石英舟装片机; 软件设计;

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