SiOx(C)/SiNx双层减反膜太阳电池LPD技术生产应用可行性分析

摘要

本文对LPD技术制备SiOx(C)/SiNx双层减反射膜太阳电池进行生产实验研究,分析LPD技术在生产上应用的可行性。结果表明,SiOx(C)/SiNx双层减反射膜能够使多晶硅太阳电池转换效率提升0.08%~0.15%(abs.)。技术实现过程易造成表面摩擦损伤形成并联漏电,从而抑制太阳电池转换效率的提升。LPD制备的SiOx(C)/SiNx双层减反射膜太阳电池组件串联电阻较高,组件封装功率损失为3.38%。LPD技术制备SiOx(C)/SiNx双层减反射膜太阳电池具有更低表面反射率和更高的转换效率,但欲在生产中使用,需攻克摩擦损伤,同时避免SiOx(C)膜沉积在电极上。