人造金刚石合成工艺中应用模糊控制的探讨

摘要

人造金刚石单晶的高压合成过程是一个复杂的转化过程.把模糊控制技术引入到人造金刚石单晶生产控制中,可提高控制精度,稳定合成腔体内温度压力场,介绍了有关模糊控制技术的基础知识,对人造金刚石合成温度的模糊控制工艺进行了有益的探讨,在模糊控制器的输入量模糊化、模糊规则判别、模糊输出量精确化等方面进行了简单的论述,给出了在PC上实现模糊控制的部分程序示例,并提出了实现模糊控制应注意的一些问题.