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徐杰;
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机译:使用第二次曝光来辅助PSM曝光以打印邻近大尺寸特征的狭窄空间
机译:用于在薄膜基质上曝光或形成图案的装置和方法,特别是用于在具有大的薄膜厚度变化的基板上曝光图案,例如用于LCD的玻璃基质
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