CCD器件相对光谱响应测试仪

摘要

设计并实现了一种涵盖400～950 nm的全自动CCD器件相对光谱响应测试仪.分析了成像器件的相对光谱响应测试原理,采用宽光谱、高灵敏度响应的科学级光纤光谱仪QE65000作为参考探测器,基于单光路直接比较法,构建了CCD器件相对光谱响应测试仪器.该装置可全自动完成CCD器件的相对光谱响应测量,不确定度分析结果表明,该装置对CCD器件开展相对光谱响应测试的最大不确定度为6.21％,满足应用需求,可为CC等图像传感器甄选、参数性能评价及后续整机测试提供关键数据支撑.