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NEMS外场驱动微电机研究进展

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摘要

按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状.指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难.展望了外场驱动微电机未来的发展趋势及应用前景.

著录项

来源
《微特电机》 |2019年第3期|77-81|共5页
作者
曹富林; 许立忠;
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作者单位

燕山大学;

秦皇岛066004;

燕山大学;

秦皇岛066004;

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正文语种 chi
中图分类其他 ;
关键词
微纳米电机; 纳机电系统; 外场驱动; 微电机 ; 发展趋势; 应用前景 ;

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